SEM5000pro場發射掃描電鏡
SEM5000pro是低電壓高分辨的熱場發射掃描電鏡，使用了高壓隧道技術（Super-Tunnel）、無交叉電子光路、靜電電磁復合物鏡設計，減少了空間電荷效應，降低系統像差，實現了 1.2 nm@1 kV 的分辨能力。低壓下的成像分辨能力提升，可對不導電樣品或半導體樣品進行直接觀察，有效降低了樣品輻照損傷。
- 品牌： 國儀量子
- 型號：SEM5000pro
- 產源地：中國
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產品描述
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技術參數
| 關鍵參數 | 分辨率 | 1.0?nm @ 15 kV 1.5 nm @ 1 kV |
| 加速電壓 | 20 V ～ 30 kV | |
| 放大倍率 | 1 ～ 2,500,000 x | |
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發射電子槍 | |
| 樣品室 | 真空系統 | 全自動控制，無油真空系統 |
| 攝像頭 | 雙攝像頭（光學導航+樣品倉內監控） | |
| 行程 | X: 115 mm，Y: 115 mm，Z: 65 mm T: -10°～ +70°, R: 360° |
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| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內高角度電子探測器 側向低角度電子探測器 |
| 選配 | 平插式中角度背散射電子探測器 STEM自動伸縮式掃描透射探測器 樣品交換倉 高速束閘和電子束曝光 EDS能譜儀 EBSD背散射衍射 EBIC電子束感生電流 CL陰極熒光 高低溫原位拉伸臺 納米機械手 大圖拼接 |
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| 軟件 | 語言 | 中文 |
| 操作系統 | Windows | |
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | |
| 自動功能 | 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 |
