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DB550
DB500聚焦離子束電子束雙束顯微鏡

DB550是一款優雅全能的納米分析和制樣工具,低電壓高分辨的電子鏡筒,保證納米分析能力。“承影”離子鏡筒提供了高穩定、高質量的離子束流,保證納米加工能力。集成式的納米機械手、氣體注入器,一體化設計的控制軟件,為您打造全能納米分析和加工中心。

  • 品牌: 國儀量子
  • 型號:DB550
  • 產源地:中國
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產品描述

技術參數

電子束系統 電子槍類型 高亮度肖特基場發射電子槍
分辨率 1.2 nm@15 kV
加速電壓 20 V ~ 30 kV
離子束系統 離子源類型 液態鎵離子源
分辨率 3 nm@30 kV
加速電壓 500 V ~ 30 kV
樣品室 真空系統 全自動控制,無油真空系統
攝像頭 三攝像頭
(光學導航+樣品倉內監控x2)
樣品臺類型 五軸機械優中心樣品臺
樣品臺行程 X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm
T: -10°~+70°,R: 360°
探測器和擴展 標配 鏡筒內電子探測器
旁側二次電子探測器(ETD)
選配 插入式背散射電子探測器(BSED)
插入式掃描透射探測器(STEM)
能譜儀(EDS)
背散射衍射(EBSD)
納米機械手
氣體注入器
等離子清洗
樣品交換倉
軌跡球&旋鈕控制板
軟件 語言 中文
操作系統 Windows
導航 光學導航、手勢快捷導航
自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散